Parameter setting method and simulation device



PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a parameter setting method capable of appropriately setting a plurality of parameters relating to an evaluation material regarding an evaluation target, and a simulation device.SOLUTION: A temporal change of a chip temperature measurement Ta in a heater chip 21 is measured. A heat transfer equation regarding a TEG 10 is solved by substituting a set of a plurality of arbitrary values to a plurality of parameters which become unknown values since relating to the evaluation material between various physical values in layers forming the TEG 10 and an interface heat transfer rate between the layers. A plurality of sets of the temporal changes of chip temperature measurements Ts calculated from a calculation result of the heat transfer equation are calculated by changing the plurality of arbitrary values. Among the plurality of calculated temporal changes of the chip temperature measurements Ts, a plurality of arbitrary values in a set with a minimum difference from the temporal change of the chip temperature measurement Ta are set as a plurality of parameters relating to the evaluation material.
【課題】評価対象品に関して評価材料に関連する複数のパラメータを好適に設定し得るパラメータ設定方法およびシミュレーション装置を提供する。 【解決手段】ヒータ用チップ21におけるチップ温度実測値Taの時間変化が測定される。そして、TEG10を構成する各層における種々の物性値と各層間の界面熱伝達率とのうち評価材料に関連するために未知の値となる複数のパラメータに対して1組の複数の任意の値がそれぞれ代入されてTEG10に関する熱伝導方程式が解かれる。この熱伝導方程式の計算結果から求められるチップ温度計算値Tsの時間変化が、上記複数の任意の値を変更することで複数組求められる。そして、求められた複数のチップ温度計算値Tsの時間変化のうちチップ温度実測値Taの時間変化との差が最も小さくなる組の複数の任意の値が、評価材料に関連する複数のパラメータとして設定される。 【選択図】図1




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