平均温度測定センサならびにこれを用いたダミーウェハ及び温調装置

Average temperature measuring sensor, dummy wafer using same, and temperature regulator

Abstract

【課題】測定対象物の平均温度を応答性よく測定可能な、平均温度測定センサを提供する。 【解決手段】複数の白金抵抗体素子(19A−19E)を熱融着型の高分子シート(17)上に並べ、高分子シート(17)上にエッチング等の手段でパターニングされたセンサ内導線(12)によって互いに電気的に接続し、熱融着型の高分子シート(17)を上方から加熱して押さえつけることにより、高分子シート(17)同士を融着させた平均温度測定センサであり、白金抵抗体素子(19A−19E)の合成抵抗値を検出することによって、測定対象物の平均温度を検出することを特徴とする平均温度測定センサ、この平均温度測定センサを表面に固定したダミーウェハ(26)、及びこの平均温度測定センサを表面又は内部に固定した温調装置。 【選択図】 図1
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an average temperature measuring sensor capable of measuring the average temperature of a measuring object with excellent responsiveness. SOLUTION: In this average temperature measuring sensor, a plurality of platinum resistor elements 19A-19E are arrayed on thermally fused type polymer sheets 17 to be connected electrically each other by an in-sensor conductor 12 patterned by a means such as etching on the polymer sheets 17, and the thermally fused type polymer sheets 17 are heated and pressed from an upper side to fuse the fellow polymer sheets 17. A compound resistor value of the platinum resistor elements 19A-19E is detected to detect the average temperature of the measuring object. COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

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